誘導結合型熱プラ本研究ではアルゴン−水素熱プラズマによる、SiO2 - Al2O3混合物の還元と分離を試みた。さらに、その反応機構についても検討を行い、以下の結論を得た。

アルゴン熱プラズマおよびアルゴン−水素熱プラズマによるSiO2 単体、Al2O3単体、さらにSiO2 - Al2O3混合物の処理を行ったときの反応機構のモデルをたて、検討を行った。

アルゴン熱プラズマまたはアルゴン−水素熱プラズマでSiO2 - Al2O3混合物を処理したとき、SiO2 の熱分解反応または還元反応が選択的に起こり、蒸発物質としてSiおよびSiOが得られ、試料基板上に Al2O3が残った。これによりSiO2 - Al2O3混合物を還元し、分離することができた。

SiO2 - Al2O3混合物をアルゴン−水素熱プラズマで処理することにより、蒸着物として得られたSi元素成分の最高純度は98.9%であり、金属級Si（97.0%以上）の回収は可能であると考えられる。

研究論文

• Takayuki Watanabe, Makoto Soyama, Atsushi Kanzawa, Akihiro Takeuchi and Mamoru Koike: Reduction and Separation of Silica-Alumina Mixture with Argon-Hydrogen Thermal Plasmas, Thin Solid Films, 345 (1), p.161-165 (1999.6).

国際学会

• Takayuki Watanabe, Makoto Soyama, Atsushi Kanzawa, Akihiro Takeuchi, and Mamoru Koike: Reduction and Separation of Silica-Alumina Mixture with Argon-Hydrogen Thermal Plasmas, Proceedings of 4th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology, p.110 (1998.7 Sydney, Australia).

国内学会