本研究では,熱プラズマの中でもエネルギー効率が高く,プラズマ体積が大きい,処理物質の滞留時間が長いといった利点を持ち,材料プロセシングに適した多相交流アークに着目した.多相交流アークは円筒チャンバの側壁に12本の電極を放射状に等角度配置し,12台の交流電源によりそれぞれに異なる位相の電圧を印加することで,電極間に大きな容積を持った高温領域を発生させる,熱プラズマ発生手法である.その特長からインフライトガラス溶融プロセスやナノ材料合成プロセスなどへの応用が期待され,実用化を目指した研究が行われている.しかし,多相交流アークは新規な熱プラズマ発生手法であるため,アーク変動現象や温度特性などの重要な基礎現象の理解が充分でない.特に材料プロセシング向けシステムの設計にあたっては,電極の配置や相制御や各種プロセス条件がアークの変動現象や温度特性に与える影響を明らかにすることが必要不可欠である.そこで本研究では,多相交流アークにおけるアーク変動と温度特性の解明を目的とし,高速度カメラと特定の波長のみを透過するバンドパスフィルタを組み合わせた計測システムにより観察した.
はじめに,多相交流アークの基本的な構成要素である電極の配置を電圧制御について検討を行った.多相交流アークの放電現象と温度特性は,電極の本数および各電極へ供給する交流電圧の相数制御によって大きく影響を受けることを確認し,相数と電極の本数が増えることで,アークがより均一に存在する領域を作り出すことを明らかにした.これは,アークの発生点が増えることと,アークのスウィングが増大するためである.温度分布については,アークに起因する高温領域が7,000
Kから12,000 Kであることを明らかにした.また,アークの空間的,時間的挙動をより明らかにするため,アーク面積変動とアーク存在確率分布を導入した.アーク面積は12相交流アークのものが最も大きく,アーク存在確率分布においても最も均一性の高い分布を持つことを明らかにした.これに対して,同じ12本の電極を用いるが,6相交流アーク放電を2段重ねた相数条件においては,放電領域の外周にアークが偏在し,中心部にはほとんどアークが存在しないという異なる結果を得た.また,アークの変動周波数解析を行い,12相交流アークにおいては,材料が高温領域の通過に要する時間に対して十分はやい変動周波数を持つことを示し,安定した材料プロセシングへの可能性を示した.得られた温度分布についての考察を行い,電極近傍などの極端な温度勾配がある部分を除いて,アークの大部分においてアルゴン励起温度をガス温度とみなすことができることを示し,多相交流アークは高融点金属やセラミクスの溶融,蒸発に十分な温度を持つことを明らかにした.
次に,多相交流アークにおけるアークの挙動に対して外的な影響を与える駆動周波数に関して検討を行った.多相交流アークの駆動周波数が放電と温度特性に与える影響について確認し,電極を6本用いた6相交流アークの場合は,どの圧力においても駆動周波数の増加に伴い,アークがより放電領域の中心部に集中し,温度も上昇することを明らかにした.これは,アーク放電の間隔が短くなることによって形成される,中心部の高温領域が熱解離を促進し,電気伝導度の高い領域を形成するためである.温度分布については,アークに起因する高温領域が7,000
Kから12,000 Kであることを明らかにした.アーク面積は周波数の増加と共に減少し,面積の変動幅も減少することを明らかにした.駆動周波数が180Hzにおいては最もアーク面積の変動が小さく,均一性の高いプロセスを実現することが期待できる結果を得ることができた.つまり,駆動周波数の増大は,交流電力に起因するアークおよび温度場のゆらぎを抑制する効果があることを示した.
最後に,多相交流アークにおける放電現象に作用する雰囲気圧力について検討を行った.雰囲気圧力が放電と温度特性に与える影響について確認し,圧力上昇に伴い,アークが緊縮するとともに最高温度が上昇することを明らかにした.12相交流アークにおいては,雰囲気圧力の上昇に伴い,温度は7,000
Kから12,000 Kの範囲で変動しており,電極近傍は特に高温となっていることがわかった.また,圧力が上昇すると,アーク面積が減少し,アークの存在確率分布は均一性が低下する傾向があることを明らかにした.
多相交流アークにおけるアークの変動現象と温度特性は,電極の構成や相数制御,そして駆動周波数や圧力からの影響を大きく受けることを示し,その傾向を明らかにした.多相交流アークは材料合成プロセスや廃棄物処理プロセスなど,様々な分野への実用化が期待されている.本研究で得られた知見をもとにシステム設計することによって,高効率,高均質な材料プロセシング技術として実用化が可能である.
研究論文
- Manabu Tanaka, Tomoyuki Imatsuji, Taro Hashizume, Takayuki Watanabe, Hisao Nagai, Takeshi Koiwasaki, and Takafumi Okuma: Investigation of Temperature Characteristics of Multiphase AC Arc by High-Speed Visualization, Journal of Fluid Science and Technology, Investigation of Temperature Characteristics of Multiphase AC Arc by High-Speed Visualization, Journal of Fluid Science and Technology, 12 (3), JFST0024 (2017.12).
- Takafumi Okuma, Tomoyuki Imatsuji, Taro Hashizume, Manabu Tanaka, Takayuki Watanabe,
Hisao Nagai, and Takeshi Koiwasaki: Effects of Working Pressure on Temperature Charactersitcs in Multiphase
Ac Arc, Journal of Fluid Science and Technology, 13 (4), JFST0024 (2018.11).
- Takafumi Okuma, Hiroki Maruyama, Taro Hashizume, Manabu Tanaka, Takayuki Watanabe, Hisao
Nagai, and Takeshi Koiwasaki: Effects of The Driving Frequency on Temperature in a MultiPhase AC Arc, IEEE Transactions on Plasma Science, 47 (1), p.32-38 (2019.1).
- Takafumi Okuma, Hiroki Maruyama, Tomoyuki Imatsuji, Taro Hashizume, Manabu Tanaka, Hisao Nagai, Takeshi Koiwasaki, and Takayuki Watanabe: Investigation of Arc Behavior and Temperature Distribution Corresponding to Electrode and Phase Configurations in a Multiphase AC Arc, Journal of Chemical Engineering of Japan, 53 (9), p.509-515 (2020.9).
国際学会
- Manabu Tanaka, Tomoyuki Imatsuji, Taro Hashizume, Takayuki Watanabe, Hisao Nagai, Tsuyoshi Koiwasaki, and Takafumi Okuma: Investigation of Temperature Characterisitcs in Multi-Phase AC Arc by
High-Speed Visualization, Proceedings of 13th International Conference
on Fluid Dynamics, OS14-8 (2016.11.11 Sendai International Center).
- Manabu Tanaka, Tomoyuki Imatsuji, Yushi Nawata, Taro Hashizume, Takayuki
Watanabe, Hisao Nagai, Tsuyoshi Koiwasaki, and Takafumi Okuma: Investigation of Temperature Fluctuation in Multiphase AC Arc by High-Speed Camera with Bandpass Filter Optics, Proceedings of 31st International Congress on High-Speed Imaging and Photonics, p.601-604, 2P-34 (2016.11.8 Hotel Hankyu Expo Park).
- Manabu Tanaka, Tomoyuki Imatsuji, Taro Hashizume, Takayuki Watanabe, Hisao Nagai, Takeshi Koiwasaki, and Takafumi Okuma: High-Speed Visualization of Fluctuation Phenomena in Multiphase AC Arc,
The 9th JSME-KSME Thermal and Fluids Engineering Conference, TFEC9-1277
(2017.10.30 Okinawa Convention Center).
- Takafumi Okuma, Tomoyuki Imatsuji, Taro Hashizume, Manabu Tanaka, Takayuki Watanabe,
Hisao Nagai, and Takeshi Koiwasaki: Effects of Working Pressure on Temperature
Profiles in Multi-Phase Ac Arc, Proceedings of 14th International Conference
on Fluid Dynamics (2017.11.2 Sendai International Center).
- Takayuki Watanabe, Hiroki Maruyama, Manabu Tanaka, Takafumi Okuma: High-Speed Visualization of Temperature Fluctuation in Multiphase AC Arc, Gordon Research Conference (2018.8.8 Bryant University, USA).
- (招待講演) Takafumi Okuma, Hisao Nagai, Takeshi Koiwasaki, Manabu Tanaka, and Takayuki Watanabe: Investigation of Characteristics of Multiphase AC Arc by High-Speed Visualization, The 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology, TD3-3 (2018.7.26 Incheon, Korea).
- Hiroki Maruyama, Manabu Tanaka, Takayuki Watanabe, Hisao Nagai, Takeshi Koiwasaki, and Takafumi Okuma: High-Speed Visualization of Temperature Fluctuation in Multiphase AC Arc, 24th International Symposium on Plasma Chemistry, P3-86 (2019.6.13 Naples, Italy).
- (招待講演) Takafumi Okuma, Hiroki Maruyama, Tomoyuki Imatsuji, Taro Hashizume, Hisao Nagai, Takeshi
Koiwasaki, Manabu Tanaka, and Takayuki Watanabe: Characterization of Multiphase
AC Arc by High-Speed Visualization, 4th Asia-Pacific Conference on Plasma
Physics, A-I32 (2020.10.30 On-Line).
- (招待講演) Manabu Tanaka, Takuya Suenaga, Aika Tamae, Takafumi Okuma, Takayuki Watanabe,
Tsugio Matsuura, Juan-Pablo Trelles, Masaya Shigeta: Planar Thermal Plasma
Jet in Dode-Rectified AC Arc System under Atmospheric Pressure, 5th Asia-Pacific
Conference on Plasma Physics, A-I19 (2021.9.30 On-Line).
- Manabu Tanaka, Takafumi Okuma, Takayuki Watanabe, Tsugio Matsuura, Juan-Pablo Trelles, and Masaya Shigeta:
Fluctuation Phenomena in Planar Thermal Plasma Jet by Diode-Rectified AC
Arc Discharge, The 74th Annual Gaseous Electronics Conference, ET42.00003
(2021.10.6 On-Line).
- Manabu Tanaka, Takafumi Okuma, Takayuki Watanabe, and Tsugio Matsuura: Planar Thermal Plasma Jet for Silicon Surface Treatment, Materials Research Meeting 2021, H2-7-05 (2021.12.15 Pacifico Yokohama).
- Manabu Tanaka, Takafumi Okuma, Takayuki Watanabe, Tsugio Matsuura, Juan Trelles, and Masaya Shigeta:
Thermal Plasma Generation by Diode-Rectification for rapid Surface Treatment,
2022 MRS Spring Meeting, MF01.12.05 (2022.5.24 On-Line).
- (基調講演) Manabu Tanaka, Ryo Takenaka, Yuta Sogo, Aika Tamae, Takafumi Okuma, Takayuki Watanabe, Tsugio Matsuura, Juan-Pablo Trelles, Masaya Shigeta:
Innovative Thermal Plasma Generation with Diode-Rectified AC Arc System
and Its Applications, 5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, A-PL1
(2022.10.10 On-Line).
- Aori Ichini, Ritsu Sogo, Manabu Tanaka, Takayuki Watanabe, Takafumi Okuma, Hisao Nagai, and Hiroki Maruyama: Density Measurement of Lithium Vapor in Multiphase AC Arc for Nanoparticle
Production of Li-Mn Composite Oxide, Proceedings of 25th International Symposium on Plasma Chemistry, POS-4-112
(2023.5.22 Miyako Messe, Kyoto).
- Ritsu Sogo, Aori Ichini, Manabu Tanaka, Takayuki Watanabe, Takafumi Okuma, Hisao Nagai, and Hiroki Maruyama: High-Speed Two-Directional Analysis of Temperature Characteristics in Multiphase
AC Arc, Proceedings of 25th International Symposium on Plasma Chemistry, POS-2-211
(2023.5.23 Miyako Messe, Kyoto).
- Manabu Tanaka, Aika Tamae, Aori Ichini, Takayuki Watanabe, Takafumi Okuma, Hisao Nagai, and Hiroki Maruyama: Nanoparticle Formation Mechanism of Li-Mn Composite Oxides by Mutiphase
AC Arc, Proceedings of 25th International Symposium on Plasma Chemistry, 4-A-304
(2023.5.24 Miyako Messe, Kyoto).
国内学会
- 今辻智幸, 田中学, 縄田裕志, 橋詰太郎, 渡辺隆行, 永井久雄, 小岩崎剛, 大熊崇文: 多相交流アークの温度特性に及ぼす雰囲気圧力の影響,プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第19回支部大会研究発表論文集,
p.85-86, P-34 (2015.12.19 熊本大学).
- 今辻智幸, 縄田裕志, 橋詰太郎, 田中学, 渡辺隆行, 永井久雄, 小岩崎剛, 大熊崇文: 多相交流アークの温度変動に及ぼす雰囲気圧力の影響,
化学工学会第48回秋季大会, 0119 (2016.9.6徳島大学).
- 今辻智幸, 田中学, 縄田裕志, 橋詰太郎, 渡辺隆行, 永井久雄, 小岩崎剛, 大熊崇文: 多相交流アークにおける温度変動特性の制御, プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第20回支部大会研究発表論文集,
p.25-26, P-03 (2016.12.17 九州大学).
- 大熊崇文, 今辻智幸, 橋詰太郎, 田中学, 渡辺隆行, 永井久雄, 小岩崎剛: 多相交流アークにおける温度特性に対する駆動周波数の影響, Plasma
Conference 2017, 23-Ea-03 (2017.11.23 姫路商工会議所).
- 丸山大貴, 橋詰太郎, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 小岩崎剛: 高速度カメラと二波長分光光学系を用いた多相交流アークの温度変動計測,
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第21回支部大会研究発表論文集, p.63-64, P-23 (2017.12.16 佐賀大学).
- 丸山大貴, 今辻智幸, 橋詰太郎, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 小岩崎剛: 高速度カメラを用いた多相交流アークの温度変動特性の解析,
化学工学会第50回秋季大会, FB219 (2018.9.19 鹿児島大学).
- 大熊崇文, 丸山大貴, 田中学, 永井久雄, 小岩崎剛, 渡辺隆行: 高速度計測システムを用いた多相交流アークの温度特性測定, 第35回プラズマ・核融合学会年会
(2018.12.4 大阪大学).
- 丸山大貴, 橋詰太郎, 田中学, 渡辺隆行, 永井久雄, 小岩崎剛, 大熊崇文: 高速度カメラを用いた多相交流アークの温度変動の可視化, プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第22回支部大会研究発表論文集,
p.101-102, B-1 (2018.12.16 九州大学筑紫キャンパス).
- 丸山大貴, 橋詰太郎, 田中学, 渡辺隆行, 永井久雄, 小岩崎剛, 大熊崇文: 高速度カメラを用いた多相交流アークにおけるアーク発生の変動現象の解析,
第36回プラズマプロセシング研究会/第31回プラズマ材料科学シンポジウム, p.42-43, 15aA-3g (2019.1.15 高知城ホール).
- 末永拓也, 丸山大貴, 釘宮悠太, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 小岩崎剛: 多相交流アークにおける金属蒸気挙動の可視化, プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第23回支部大会研究発表論文集,
P-34, p.79-80 (2019.12.21 別府国際コンベンションセンター).
- 末永拓也, 丸山大貴, 釘宮悠太, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 小岩崎剛: 多相交流アークにおけるLi原子の励起光を用いた金属蒸気の高速度観測,
第37回プラズマ・核融合学会年会, 03Ba02 (2020.12.3 オンライン).
- 末永拓也, 釘宮悠太, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 小岩崎剛, 丸山大貴: 粉体供給中の多相交流アークにおけるLi金属蒸気の高速度計測,
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第24回支部大会研究発表論文集, 20aB01 (2020.12.20 オンライン).
- 田中学, 大熊崇文, 渡辺隆行, 松浦次雄, Juan-Pablo Trelles, 茂田正哉: ダイオード整流型交流アークを用いたプレーナー熱プラズマジェットの変動現象の可視化,
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 10p-S301-3 (2021.9.10 名城大学).
- (招待講演) 大熊崇文, 末永拓也, 丸山大貴, 玉江藍花, 永井久雄, 小岩崎剛, 田中学, 渡辺隆行: 多相交流アーク中の高速度温度計測とナノ粒子合成,
化学工学会第52回秋季大会, LB213 (2021.9.23 岡山大学).
- 末永拓也, 玉江藍花, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 小岩崎剛, 丸山大貴: Li原子の励起光を用いた多相交流アーク中の金属蒸気計測,
化学工学会第52回秋季大会, LB215 (2021.9.23 岡山大学).
- 末永拓也, 玉江藍花, 十河りつ, 竹中凌, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 丸山大貴: Li2Si2O5供給中の多相交流アークにおけるLi原子の励起光を用いた温度計測,
第38回プラズマ・核融合学会年会, 24Bp03 (2021.11.24 オンライン).
- 玉江藍花, 末永拓也, 十河りつ, 竹中凌, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 丸山大貴: 多相交流アークにおけるLi-W複合酸化物ナノ粒子の生成機構,
第38回プラズマ・核融合学会年会, 22Bp03 (2021.11.22 オンライン).
- 竹中凌, 熊井絵理, 松浦次雄, 大熊崇文, 田中学, 渡辺隆行: ダイオード整流型交流アークを用いた難還元性金属酸化物の水素ラジカル還元,プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第25回支部大会研究発表論文集,
19B03 (2021.12.19 オンライン).
- 十河りつ, 玉江藍花, 末永拓也, 竹本裕貴, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 丸山大貴: 高速度カメラを用いた多相交流アークの温度場変動特性の解析,プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第25回支部大会研究発表論文集,
19aB04 (2021.12.19 オンライン).
- 玉江藍花, 末永拓也, 十河りつ, 竹中凌, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 丸山大貴: Li-W複合酸化物ナノ粒子生成プロセスにおける多相交流アークにおける温度変動,
第39回プラズマプロセシング研究会/第34回プラズマ材料科学シンポジウムプロシーディングス, S25-A-07 (2022.1.25 オンライン).
- (招待講演) 大熊崇文, 丸山大貴, 末永拓也, 玉江藍花, 永井久雄, 小岩崎剛, 田中学, 渡辺隆行: 多相交流アークの高速度温度計測とナノ粒子合成, IT26-B-01, 第39回プラズマプロセシング研究会/第34回プラズマ材料科学シンポジウムプロシーディングス (2022.1.26 オンライン).
- 十河りつ, 玉江藍花, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 丸山大貴: 6相交流アークの放電領域における変動特性, 化学工学会第53回秋季大会, AC216 (2022.9.15 信州大学).
- 玉江藍花, 十河りつ, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 丸山大貴: 多相交流アークにおけるLi-Mn複合酸化物ナノ粒子の生成機構,
第39回プラズマ・核融合学会年会, 22Ba05 (2022.11.22 富山国際会議場).
- 一二碧利, 玉江藍花, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 丸山大貴: Li-Mn系複合酸化物ナノ粒子の熱プラズマ合成におけるLi蒸気の密度計測,
プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第26回支部大会研究発表論文集, p.69-70, 3P2-8 (2022.12.10 九州大学筑紫キャンパス).
- 田中学, 玉江藍花, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 丸山大貴: 多相交流アークにおけるLi-Mn複合酸化物ナノ粒子の合成と金属蒸気の可視化,
第70回応用物理学会春季学術講演会, 18a-A408-2 (2023.3.18 上智大学四谷キャンパス).
- 十河りつ, 一二碧利, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 丸山大貴: 多相交流アークにおける温度変動特性の二方向同期計測, 化学工学会第54回秋季大会, G215 (2023.9.12 福岡大学).
- 永井久雄, 丸山大貴, 小岩崎剛, 福田一人, 大熊崇文, 田中学, 渡辺隆行: 多相交流アークプラズマを用いた抗ウィルス材料の合成, 化学工学会第54回秋季大会, G221 (2023.9.12 福岡大学).
- 田中学, 一二碧利, 玉江藍花, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 丸山大貴: Li-Mn系複合酸化物ナノ粒子の熱プラズマ合成におけるLi蒸気計測,
第38回九州・山口プラズマ研究会資料集, p.42-43 (2023.11.3).
- 一二碧利, 十河りつ, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 丸山大貴: Li系複合酸化物ナノ粒子の熱プラズマ合成におけるLi原子の自己吸収を用いた密度計測,
プラズマ・核融合学会第40回年会, 30A-03 (2023.11.30 盛岡アイーナ).
- 田中学, 一二碧利, 十河りつ, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 丸山大貴: リチウム複合酸化物ナノ粒子の熱プラズマ合成における金属蒸気の可視化,
高速度イメージングとフォトニクスに関する総合シンポジウム2023講演論文集, 16-1 (2023.12.15 近畿大学東大阪キャンパス).
- 十河りつ, 一二碧利, 田中学, 渡辺隆行, 大熊崇文, 永井久雄, 丸山大貴: 高速度カメラを用いた多相交流アークの温度変動解析, 高速度イメージングとフォトニクスに関する総合シンポジウム2023講演論文集16-2
(2023.12.15 近畿大学東大阪キャンパス).